离子注入机晶圆传送系统及晶圆传送方法

摘要

本发明涉及一种离子注入机晶圆传送系统及其晶圆传送方法。一种离子注入机晶圆传送系统，其包括真空靶室、左输片机械手、中输片机械手、右输片机械手、左隔离阀门、右隔离阀门、左片库、右片库及离子注入靶台；左输片机械手、中输片机械手、右输片机械手均固定在真空靶室内；左隔离阀门隔离左片库和真空耙室，右隔离阀门隔离右片库和真空耙室；离子注入靶台位于真空耙室内；左输片机械手的工作位包括左片库和离子注入靶台，中输片机械手的工作位包括左片库、右片库和离子注入靶台，右输片机械手的工作位包括右片库和离子注入靶台。该系统使用了三台机械手来配合传送晶圆。大大提高了晶圆传送的效率。