法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-13
授权
发明专利权授予
机译: 带电粒子束系统,用于在带电粒子束装置中自动搜索焦点位置的测距范围的方法,以及用于使计算机系统确定用于自动搜索带电粒子束装置中的焦点位置的范围的非暂时性存储介质记录程序
机译: 我们记录了一个程序,用于确定自动搜索充电粒子束系统,带电粒子束装置和计算机系统中的焦点位置的范围,以确定自动搜索带电粒子束装置中的焦点位置的范围。非临时存储介质
机译: 带电粒子束系统,用于自动搜索带电粒子束装置中的焦点位置的范围的测定方法,以及用于使计算机系统确定用于自动搜索带电粒子束装置中的焦点位置的范围的非暂时性存储介质记录程序