一种基于铌酸锂薄膜的可调谐FP滤光片

摘要

本发明属于薄膜窄带滤光片技术领域，具体涉及一种基于铌酸锂薄膜的可调谐FP滤光片，包括：衬底、第一金属层、电光可调谐铌酸锂薄膜通光层、第二金属层，通过控制所述第一金属层和第二金属层之间的电压，可以调节所述可调谐滤波器的本发明的可调谐FP滤光片的中心波长。本发明采用的铌酸锂薄膜作为光学干涉薄膜中半波共振腔的腔体材料，其具有较宽的透光窗口、较高的电光系数以及较好的温度稳定性，可以大幅降低窄带可调谐滤波器的光学损耗，同时实现中心波长的可调谐。本发明可以有效改善现有MEMS热光调谐滤波器存在的光损耗大，调谐速度慢、温度敏感等问题，在光传感领域具有良好的应用前景。