一种超高温烧结炉

摘要

本发明属于超高温真空技术领域，尤其涉及一种超高温烧结炉。可提高生产效率，降低生产成本，突破国内现有技术瓶颈，满足工业发展需要。包括炉体、炉门、真空系统、加热室；其特征在于，所述真空系统的抽空接口与炉体腔体相通；所述加热室设置于炉体腔体内；所述加热室包括电阻式加热室或感应式加热室，两加热室内部均设有发热体、保温层，发热体置于保温层内；炉体顶部设置有低温热偶组件、红外测温组件和重力阀；低温段采用金属转子流量计将氩气以大流量形式充入炉内，高温段采用质量流量计以小流量形式将氩气持续充入炉内；所述炉体上设置有重力阀，其工作端口与炉体工作腔体相通。