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一种Al/WO3 纳米复合薄膜及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及一种Al/WO3纳米复合薄膜及其制备方法和应用,该Al/WO3纳米复合薄膜的制备方法包括:提供WO3基底,然后通过磁控溅射在所述WO3基底上负载Al,所述WO3基底为水热法制备的海胆状纳米WO3薄膜材料。本发明所提供的简易制备Al/WO3纳米复合薄膜的方法,具有镀膜效率高、纯度高、溅射产物与基底结合力强、薄膜结构紧密稳定、成膜均匀性好且可精确控制的优点。

著录项

  • 公开/公告号CN112156769A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京工业大学;

    申请/专利号CN202010975851.3

  • 申请日2020-09-16

  • 分类号B01J23/30(20060101);B01J35/06(20060101);B01J37/02(20060101);B01J37/34(20060101);B01J37/10(20060101);B82Y30/00(20110101);B82Y40/00(20110101);A62D3/17(20070101);C23C14/18(20060101);C23C14/35(20060101);A62D101/20(20070101);

  • 代理机构11002 北京路浩知识产权代理有限公司;

  • 代理人盛大文

  • 地址 100022 北京市朝阳区平乐园100号

  • 入库时间 2023-06-19 09:24:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-08-29

    授权

    发明专利权授予

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