清洗处理方法、酸温度控制设备和清洗处理设备

摘要

本申请提出一种清洗处理方法、酸温度控制设备和清洗处理设备，其中，方法包括：对硅晶对象进行水洗，对经过水洗的硅晶对象，采用经过温控的酸液进行酸洗，并在酸洗过程中，对硅晶对象进行抖动，对经过酸洗的硅晶对象进行漂洗，对经过漂洗的硅晶对象顺序进行超声处理和干燥处理，本申请在执行酸洗的过程中，通过温控使得酸液保持在设定温度，提高了酸洗的效率，而对硅晶对象的抖动使得硅晶对象和酸液可以充分接触，提高了酸洗的效果，同时，结合水洗和超声波洗，有效去除了硅晶对象表面的金属残留，以及其它杂质，提高了清洗处理的效果。