一种具有盘面在位测量与修整功能的抛光机

摘要

本发明公开了一种具有盘面在位测量与修整功能的抛光机，包括底座、主轴、抛光盘、支撑单元、进给单元、测量单元、修整单元和计算机；所述的进给单元、测量单元与修整单元分别安装在支撑单元上。本发明支持双工位同时抛光加工。进给单元在加工过程中可带动工件沿复杂轨迹运动，从而提高工件与抛光盘接触的均匀性，进而提高抛光精度。测量单元可在位测量抛光盘表面的面形、对抛光机的加工稳定性进行评价，从而指导抛光盘表面的修整或更换。修整单元可以在位修整抛光盘表面，使其面形精度提升，进而保证抛光机的加工精度。本发明实现抛光盘面形的在位修整，使抛光机始终保持良好的加工状态，进而保证工件的面形精度与表面质量、降低废品率。