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公开/公告号CN111956220A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN202010857959.2
发明设计人 陶虎;梁佶智;周志涛;魏晓玲;郑发明;
申请日2020-08-24
分类号A61B5/0478(20060101);G03F7/20(20060101);G03F1/00(20120101);
代理机构44202 广州三环专利商标代理有限公司;
代理人郝传鑫;贾允
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2023-06-19 08:59:45
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