无需打线接合的三维纳米管气体传感器阵列及其封装方法

摘要

本发明涉及一种无需打线接合的三维纳米管气体传感器阵列及其封装方法，所述方法包括：阳极氧化铝薄膜第一表面的至少一个第一电极与其第二表面的至少一个第二电极对应使得第一电极与第二电极之间的阳极氧化铝薄膜区域形成传感区域(S1)，设置在过孔第一端的所述第一电极的一端通过临近的过孔内的导电元件与过孔第二端的延伸电极(32)连接，从而使得三维纳米管基底第一表面的第一电极通过延伸电极与第二电极在三维纳米管基底第二表面进行共面设置，第一电极与延伸电极之间的过孔形成过孔区域。本发明避免打线接合，以实现三维纳米管结构的集成及上下电极的引出。