探针卡、具有其的晶圆检测设备及使用其的裸晶测试流程

摘要

本发明提供一种探针卡、具有其的晶圆检测设备及使用其的裸晶测试流程，探针卡包括多个探针、电路板以及至少一温度感测装置。电路板电性连接于多个探针。温度感测装置，热耦接于多个探针的至少其中之一。