一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型

摘要

本发明公开了一种提高系统对高度差测量精度的补偿模型，属于精度补偿技术领域，本专利发明的优点在于当机台的玻璃平面或者z轴状态发生轻微改变时，可以通过平面标定及z轴标定，保证高度差的测量精度。将高度差测量精度从原来补偿前的70u提高到补偿后的4u。本发明科学合理，使用安全方便，并且本发明操作步骤简单需要将通过移动激光点的高度即可完成对平面的标定，而z轴补偿也仅仅需要对不同高度的测量块进行高度的测量即可，整个操作流程简单易操作。