用于检测导电和/或可极化粒子的传感器、传感器系统、用于操作传感器的方法以及此类传感器的用途

摘要

本发明涉及一种用于检测导电和/或可极化粒子，尤其是用于检测烟灰粒子的传感器(10)，包括衬底(11)，其中在第一阶层(E1)中的第一结构化绝缘体(20)、在第二阶层(E2)中的第一结构化电极层(31)、在第三阶层(E3)中的第二结构化绝缘体(21)和在第四阶层(E4)中的第二结构化电极层(32)间接或直接地布置在所述衬底(11)的至少一侧上，布置方式为使得在至少一个结构化电极层(31、32)和/或一个结构化绝缘体(20、21)中形成至少一个开口(25、26、35、36)，所述开口能够被待检测的所述粒子(30、30')接近，其中所述电极层(31、32)具有至少两个电极(40、40'、41、41')或至少两个导体轨道(38、39)或至少一个电极与至少一个导体轨道的组合。