基于动态李萨如图的超声波纳米精度测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种基于动态李萨如图的超声波纳米精度测量装置及方法，采用超声波信号发生装置产生超声波信号源，并向被测空间发射超声波；第一声波传感器采集该测量点上的超声波信号，第二声波传感器采集从被测空间的一测量点沿直线移动至被测空间的另一测量点过程中超声波信号以及被测空间的另一测量点上的超声波信号，信号处理装置接收两个声波传感器发送的超声波电信号，根据两路超声波电信号，绘制和显示从被测空间的一测量点沿直线移动至被测空间的另一测量点过程中动态李萨如图，根据李萨如图的转动角度、旋转方向和循环次数，计算两个测量点的超声波相位差值，基于声波传播距离与相位角的关系表达式，计算被测空间的距离。