公开/公告号CN108728824A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-02
原文格式PDF
申请/专利权人 ASM IP控股有限公司;
申请/专利号CN201810344382.8
发明设计人 T·J·V·布兰夸尔特;
申请日2018-04-17
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人沙永生
地址 荷兰阿尔梅勒
入库时间 2023-06-19 06:58:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/455 申请日:20180417
实质审查的生效
2018-11-02
公开
公开
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