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用于处理太阳能电池基板的设备、用于处理太阳能电池基板的系统和用于处理太阳能电池基板的方法

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本公开内容提供用于处理太阳能电池基板(10)的设备(100)。设备(100)包括具有支撑面(112)的至少一个热装置(110)，该支撑面被配置为用于支撑和接触太阳能电池基板(10)，其中该至少一个热装置(110)被配置为用于进行传导热传递。

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公开/公告号CN108604619A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-28

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料意大利有限公司;
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申请/专利号CN201680080794.4
发明设计人安德烈亚·贝茨尼;丹尼尔·吉斯隆;路易吉·德·桑蒂;马可·加里亚佐;马泰奥·贝塔佐;
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申请日2016-02-22
分类号H01L31/18(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址意大利圣比亚焦迪卡拉尔塔
入库时间 2023-06-19 06:38:41

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-10-26

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20160222

实质审查的生效
2018-09-28

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