用于激光微孔加工的光束扫描系统及光束扫描方法

摘要

本发明涉及一种用于激光微孔加工的光束扫描系统及光束扫描方法，该光束扫描系统包括发射激光束的激光器模块，还包括：光束二维扫描模块、光束横移模块、光束二维扫描模块驱动系统、光束横移模块驱动系统，聚焦镜、协同控制系统。本发明的系统实时检测光束横移模块的当前相位，对光束横移模块的当前相位和预设的光束二维扫描模块扫描轨迹进行矢量解析，解决了机械特性差异大带来的同步控制的难题，并能消除累积误差，较好的保证其长期同步精度。