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有助于增进气体与汽化材料接触的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于汽化和递送汽化源材料的汽化器,所述汽化器包括:容器,包括至少一个限定内部的容器壁;以及设置在至少与所述内部接触的间歇流体的气体入口和气体出口,所述气体入口适合于向所述内部供应第一气体;至少一个支撑物,包括设置于所述内部的支撑表面,其中所述支撑表面适合于在所述内部或在所述内部沿所述第一气体的流程支撑可汽化源材料,以及其中所述至少一个支撑表面以至少一个壁分隔成两个或更多个支撑可汽化源材料的离散区域。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-11-30

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B01F 3/04 变更前: 变更后: 申请日:20050601

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2015-07-29

    专利权的转移 IPC(主分类):B01F 3/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20150706 申请日:20050601

    专利申请权、专利权的转移

  • 2013-01-23

    授权

    授权

  • 2011-01-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):B01F 3/04 申请日:20050601

    实质审查的生效

  • 2010-12-08

    公开

    公开

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