实现温度变化期间的尺寸稳定性的结构

摘要

描述了用于在纳米压痕测量系统中的加热或冷却的样品固定台。设计的几何形状和材料的选择使得样品架在较宽的温度范围内相对于纳米压痕尖端的移动最小化。该系统对由于在高温纳米压痕系统中尖端和/或样品的加热而引起的样品运动和/或压痕尖端运动进行控制和最小化。这是通过几何、材料选择和多个热源冷源的组合来实现的，稳态和瞬态位移响应都可以得到控制的。