公开/公告号CN107636538A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-26
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201680028226.X
申请日2016-05-19
分类号G03F7/20(20060101);G02B7/38(20060101);G02B27/32(20060101);G06T7/80(20170101);H04N5/232(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人张世俊
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 04:23:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20160519
实质审查的生效
2018-01-26
公开
公开
机译: 用于叠加测量的地形相位控制
机译: 用于叠加测量的地形相位控制
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