用于测试MEMS麦克风的信噪比的低成本方法

摘要

提供了一种用于测试MEMS麦克风的方法。MEMS麦克风包括位于外壳内的压力传感器和将声压从外壳外部朝向压力传感器引导的压力输入端口。声压源向MEMS麦克风提供声压。接近于MEMS麦克风定位参考麦克风。比较MEMS麦克风的输出信号与参考麦克风的输出信号。从MEMS麦克风的输出信号去除公共信号分量，并且针对由于设备的构造所致的噪声和针对设备的信噪比而分析MEMS麦克风的输出信号。基于噪声信号和信噪比，拒绝或接受MEMS麦克风。