一种ELID砂轮氧化膜摩擦系数在线测量、ELID磨削、抛光一体机

摘要

本发明提供一种ELID砂轮氧化膜摩擦系数在线测量、ELID磨削、抛光一体机，属于ELID磨削、摩擦系数测量、超精密抛光技术领域。本设备集成了氧化膜在线测量功能、ELID磨削功能和抛光机的功能，本机能够在测得的参数基础上实时进行ELID磨削实验，同时对被加工件进行抛光处理，避免了多次装夹引入误差等问题。主要包括摩擦系数试验机部分、ELID磨削部分和抛光机部分。该发明将氧化膜实时测量，ELID磨削、抛光集成在一起，使得氧化膜测量与ELID磨削、抛光在一台设备上实现，便于测得的氧化膜参数的实时验证，由于省去了多工位、多次装夹带来的误差，粗精加工集成在一台设备，又能够提高超精密加工精度。