基于表面测温法的针型薄膜热电偶试验验证系统及其应用

摘要

本发明公开了一种基于表面测温法的针型薄膜热电偶，以耐高温陶瓷为基体组件，选用K型热电偶(NiCr‑NiSi)，并采用射频磁控溅射技术在基体组件上制备热电偶薄膜，其热接点厚度为微米级，热容远远小于普通热电偶，能与产品表面有效贴合，迅速准确测量800℃以上的高温瞬态温度变化，测量误差小于2℃。该型薄膜热电偶主要应用于深空探测、高超声速飞行器，以及天地往返飞行器等产品表面的高温瞬态测量，也可应用于航天器的地面试验验证。