一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法，包括以下步骤：(1)将AMOLED玻璃基板置于乳液体系中进行超声清洗15‑25min；(2)将上述超声清洗后的AMOLED玻璃基板安装到溅射腔内，通过抽真空，使溅射腔的背底真空度小于1.0×10‑3Pa；(3)向溅射室中充入溅射气体，调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10‑2数量级，总压力为0.5‑1.5Pa，溅射功率为90‑300W，AMOLED玻璃基板温度为室温，溅射时间为30‑90min；(4)调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10‑1数量级，总压力为0.5‑1.5Pa，溅射功率为50‑200W，基板温度为室温，溅射时间为30‑60min；溅射后最终制得透明导电氧化物复合薄膜。