光掩模坯基板收纳容器、光掩模坯基板的保管方法以及光掩模坯基板的输送方法

摘要

本发明的课题在于，提供一种能抑制对抗蚀剂图案的影响且能保管、输送光掩模坯基板的光掩模坯基板收纳容器。为此，提供一种光掩模坯基板收纳容器，其特征在于，具备：内部构件，其具有内部盒体与保持构件；容器本体，其具有下箱与上盖；及，密封带；容器本体和内部构件由高分子系材料构成，该高分子系材料在采取0.1g样品时在以40℃保持60分钟的情况下释放的排气成分中，根据气相色谱质谱仪检测到的排气总量以正十四烷换算为1.9×10