一种QCM湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种QCM湿度传感器，其特征在于：包括压电晶片、绝缘层、金属电极层和湿度敏感薄膜层；所述金属电极层包括第一金属电极层和第二金属电极层；所述第一金属电极层包括两个电极，分别设置于压电晶片两个面上，其中一个电极表面设有绝缘层；所述绝缘层表面上设有第二金属电极层，第二金属电极层表面设有湿度敏感薄膜层。本发明QCM湿度传感器具有双金属电极层的结构，能够达到高灵敏度检测低湿，同时能够增强传感器的稳定性，并且成本低、湿度检测范围大、灵敏度高、响应快、重复性好、制作工艺简单，可以广泛应用于低湿度检测和高精度湿度检测领域。