硅杯聚能Al/CuO复合薄膜点火桥和点火桥阵列

摘要

本发明公开了一种硅杯聚能Al/CuO复合薄膜点火桥和点火桥阵列，在硅基片上用各向异性腐蚀技术制作出正四方锥形斜面的硅杯，点火桥由上电极、下电极和电介质层叠加在硅杯上而成，两层尺寸相同方向相反的金属薄膜分别作为上电极和下电极，与上电极金属薄膜尺寸、方向都相同的Al/CuO复合薄膜层夹在两层金属薄膜之间作为电介质层，Al/CuO复合薄膜层的一部分覆盖叠加在下电极金属薄膜上，上电极金属薄膜完全覆盖叠加在Al/CuO复合薄膜层上；用Au金属薄膜或Cu金属薄膜制作成引线连接若干硅杯聚能Al/CuO复合薄膜点火桥排列成点火阵列。本发明具有自身防射频的能力高、点火能力强、与火工品其他部件的集成度好的功能。