一种微纳米光场实时构建调制系统和方法

摘要

本申请公开了一种微纳米光场实时构建调制系统和方法，该系统包括光源、空间过滤单元、4F光学系统和光波调制单元，所述4F光学系统包括沿光路依次设置的第一透镜(组)和第二透镜(组)，本发明通过位相元件或位相元件组实现对入射波面实时的调控，通过空间过滤单元实现对入射光子波面、光波调制光学元器件像素选择、像素有效区域、成像面光场空间滤波等参数调控，最终利用空间滤波/空间分时滤波和/或位相元件的相对位置变化，实现图案、图案分布区域以及图案的空频、取向、占空比以及相位或相移量等结构参数的连续调制。该系统可灵活集成于各种光刻或显微系统中，实现任意微纳米结构的实时写入和可调制微纳米结构光检测。