一种导电薄膜的制备设备上的气浮式导膜装置

摘要

本发明提供了一种导电薄膜的制备设备上的气浮式导膜装置，属于功能薄膜技术领域。它解决了薄膜保护难等技术问题。一种导电薄膜的制备设备上的气浮式导膜装置，制备设备包括一溅镀机，转轴内具有一通风腔，通风腔的内壁上均匀设置有若干隔板，各隔板的外端与转轴固定相连，相邻隔板的内端之间具有间隙，安装筒上开设有若干避让槽一，转轴的外壁上均匀设置有与避让槽一一一对应的通风板，通风板内具有通风间隙，通风板的内端与转轴固定相连，通风板的外端插设在对应的避让槽一内；壳体上具有薄膜入口和薄膜出口；通风间隙与通风腔相通；隔板的内端至转轴的内壁之间的距离沿通风腔内的气流方向逐渐变小。本发明具有薄膜保护有效等优点。