在由载具支撑的基板上沉积一层或多层的系统及方法

摘要

描述了一种用于沉积一层或多层(特别地，在其中包含有机材料的层)的系统。所述系统包括：第一装载锁定腔室；第一传递腔室和第二传递腔室，用于传送所述基板；包括两个或更多个沉积设备的直列式沉积系统部分，所述两个或更多个沉积设备设置在所述第一传递腔室与所述第二传递腔室之间，并且所述直列式沉积系统部分适用于将载具从一个沉积设备传送到相邻的沉积设备，其中所述沉积设备包括可移动且可转动的蒸发源；以及第二装载锁定腔室。