一种钨掺杂二氧化钒热致变色薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种钨掺杂二氧化钒热致变色薄膜及其制备方法，所述薄膜由以下方法制备得到：采用磁控溅射的方法预先在基片表面沉积一层五氧化二钒，然后在其上沉积金属钨层，最后在钨层上沉积一层五氧化二钒，形成五氧化二钒/金属钨/五氧化二钒混合薄膜，再采用惰性气氛将金属钨氧化为高价钨，将五氧化二钒还原为二氧化钒，得到钨掺杂二氧化钒热致变色薄膜。本发明所得薄膜不仅相变温度接近室温，而且有足够的可见光透过率和红外开关效率，能够满足建筑智能窗等实际应用的需要。