一种硅基MEMS微扬声器

摘要

本发明公开了一种硅基MEMS微扬声器，包括：硅基支撑构件，硅振膜，以及连接所述硅基支撑构件和所述硅振膜的弹性连接构件，所述硅振膜的一侧设置有音圈振膜线圈，所述硅基支撑构件的一侧设置有驱动线圈，所述音圈振膜线圈和所述驱动线圈通过相互作用使所述硅振膜运动而发声。本发明技术方案的硅基MEMS微扬声器采用载流线圈间相互作用的方式发声，而不采用磁钢，是一种非磁钢系统MEMS微扬声器，继承了硅基电磁式MEMS微扬声器频响特性较好的特点，并简化了制作工艺，进一步的，易于实现无磁化、平面化和超薄化。