双回路温度控制模块及具备该模块的电子元件测试设备

摘要

本发明涉及一种双回路温度控制模块及具备该模块的电子元件测试设备，其中第一回路内流动有具有第一温度的第一工作流体，第二回路内流动有具有第二温度的第二工作流体，而控制器控制第一切换阀使第一工作流体或第二工作流体流经温度调控件，并控制第二切换阀使流经温度调控件的工作流体回流至第一回路或第二回路。借此，经工作流体升温或降温的温度调控件可调整热电致冷元件至两个不同的基准温度，而热电致冷元件更可基于所述基准温度来为待测元件提供更大温度差范围、且更精确的温度调控，以利进行高低温检测。