一种可精确调控谐振频率的环形谐振器

摘要

本发明公开了一种可精确调控谐振频率的环形谐振器，包括直波导以及与所述直波导耦合的谐振环；所述谐振环上覆盖有掺铪氧化钒薄膜。通过在谐振环上覆盖一层相变材料掺铪氧化钒HF‑VO2，这种材料在不同的温度下具有不同的折射率，从而可以达到调控谐振环有效折射率的作用，进而调控对应的谐振波长。