蚀刻初级预制品的方法及由此得到的蚀刻初级预制品

摘要

本发明涉及一种蚀刻初级预制品的方法及由此得到的蚀刻初级预制品。具体而言，本发明涉及一种用于蚀刻初级预制品的方法，所述方法包括如下步骤：*将外径为ODPP的初级预制品引入外径为ODET且内径为IDET的中空蚀刻管的中央腔，使得初级预制品外表面的一部分沿成角度的方向与蚀刻管内表面的一部分接触，由此在初级预制品外表面的剩余部分和蚀刻管内表面的剩余部分之间形成一个开放区域；*将蚀刻管的中央纵向腔内插有初级预制品的蚀刻管安装到机床上，并将蚀刻管引入安装在机床上的施加器的中央开口内，其中，施加器和蚀刻管沿轴向方向上相对于彼此移动；*使蚀刻管围绕其轴转动，由此导致初级预制品在蚀刻管内的反向转动；和*将电磁辐射耦合进施加器，并在蚀刻管被施加器包围的部分内产生在一个或多个行程期间沿蚀刻管的长度方向往复平移的等离子体，其中，在至少一个行程的至少一部分行程期间，通过将含氟蚀刻气体供应至开放区域来蚀刻初级预制品的外部，从而得到蚀刻的初级预制品。本发明还涉及一种初级预制品和由其得到的光纤。