一种红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备及其合束方法

摘要

本发明公开了一种红外纳秒激光与红外皮秒激光合束设备及其合束方法，该设备包括红外皮秒激光器、红外纳秒激光器、激光合束模块以及激光振镜扫描光路模块；所述红外皮秒激光器和红外纳秒激光器分别输出红外皮秒和红外纳秒激光，所述激光合束模块将输出的红外皮秒激光和红外纳秒激光合为一束并输出合束激光，所述激光振镜扫描光路模块接收合束光，并交替输出红外皮秒激光和红外纳秒激光；本发明可以把红外纳秒激光快速去除材料与红外皮秒激光器热影响小，裂痕细小，表面碎屑少的优势结合，快速完成特定高质的激光加工要求。