兼具耐蚀性和耐磨性的镁合金表面气相沉积防护涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种兼具耐蚀性和耐磨性的镁合金表面气相沉积防护涂层及其制备方法，所述镁合金表面气相沉积防护涂层是一种不需要过渡层，直接在镁合金表面沉积的铝掺杂类金刚石涂层，其中铝在涂层中的掺杂量为10～16at.％，制备方法采用涂层混合沉积系统设备，先将镁合金预处理，再用氩离子束轰击清洗镁合金基体表面，最后同时开启离子束源和磁控溅射源沉积铝掺杂类金刚石薄膜。本发明制备工艺简单易操作，制得的铝掺杂类金刚石涂层具有较低的内应力，与基体结合良好，不仅能够降低镁合金的摩擦系数，提高抗磨损能力，而且能够大幅度的提升镁合金的抗腐蚀能力。