一种水平方向对称的高阶超模方向耦合波导探测器

摘要

本发明公开了一种水平方向对称的高阶超模方向耦合波导探测器，包括从下往上依次设置的衬底层(1)、波导层(2)、吸收层(3)以及覆盖层(4)；波导层(2)由左波导(21)、中波导(22)和右波导(23)并排构成，左波导(21)和右波导(23)结构相同且呈对称分布设置。本发明解决了现有的方向耦合波导探测器、垂直方向耦合波导探测器以及对称结构的垂直方向耦合器波导探测器横截面过小，因而入射光斑过小的问题，使入射光斑直径可从原来的3微米增加到5微米，从而增加了探测器的光电流，并有效增加了从光纤到波导的光耦合效率。