光强衰减装置及其衰减方法

摘要

一种用于光刻机的对准系统的自动光强衰减装置，包括控制器，滤光片，电机，光电传感器，其特征在于，所述电机驱动所述滤光片旋转，用以调整入射光的衰减值，所述光电传感器用于向控制器反馈所述滤光片的旋转角度。本发明采用圆形可变中性密度滤光片，其在可见光区到近红外光区内，通过吸收和反射使透过光密度线性衰减。通过控制器控制电机从而控制滤光片的旋转，由此很方便地实现光强的自动无级衰减。