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亚稳态AlZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法

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摘要

亚稳态AlZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法属于光学功能材料技术领域。现有用来制作AlZnO固溶合金薄膜的方法十分繁琐。本发明之亚稳态AlZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法属于一种Sol‑Gel法，其特征在于，确定Al

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-03-10

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/02 申请公布日:20170531 申请日:20161125

发明专利申请公布后的视为撤回
2017-06-23

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20161125

实质审查的生效
2017-05-31

公开

公开

1. 亚稳态AlZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法 [P] . 中国专利： CN106783534A . 2017-05-31
2. 亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法 [P] . 中国专利： CN106756901A . 2017-05-31
3. A METASTABLE SOLID SOLUTION TITANIUM-BASED ALLOY PRODUCED BY VAPOUR QUENCHING. [P] . 日本专利： JPH07500870A . 1995-01-26

机译：通过蒸气淬火生产的亚稳态固溶钛基合金。
4. A METASTABLE SOLID SOLUTION TITANIUM-BASED ALLOY PRODUCED BY VAPOUR QUENCHING. [P] . 日本专利： JPH06505118A . 1994-06-09

机译：通过蒸气淬火生产的亚稳态固溶钛基合金。
5. A METASTABLE SOLID SOLUTION TITANIUM-BASED ALLOY PRODUCED BY VAPOUR QUENCHING. [P] . 日本专利： JPH06505119A . 1994-06-09

机译：通过蒸气淬火生产的亚稳态固溶钛基合金。