机电医疗器械涂覆碳化硅纳米涂层的装置及其涂覆方法

摘要

本发明公开了机电一体化技术领域的一种机电医疗器械涂覆碳化硅纳米涂层的装置，包括基座，所述基座的顶部中心处设置有涂覆箱，所述涂覆箱的内腔顶部中心处设置有电机固定架，所述电机固定架的内腔顶部设置有电机，所述电机的底部动力输出端设置有转轴，与现有的机电医疗器械涂覆碳化硅纳米涂层的装置相比，本发明结构简单，操作方便，本发明通过调节四组蒸发电子枪对硅晶片、碳化硅柱和不锈钢柱的加热蒸发作用，四组蒸发电子枪既可以对单个材料进行加热蒸发工作，又可以分别对三组材料同时进行加热，可以进行调节涂覆层的组分，进而可以达到更好的涂覆效果。