原位成型式光学微透镜的激光微制造装置及方法

摘要

本发明提出一种新的原位成型式光学微透镜的激光微制造装置及方法，属于生物学、分析化学及医学检测等领域。该套装置与方法将紫外固化光学胶从一定高度释放，滴落在芯片原定位置上，即生物芯片微光谱检测系统的光激发单元和光检测单元的滤光片上，用一定功率的紫外激光照射一定的时间，将光学胶液滴固化成吻合设计形状的光学微透镜。本发明的本质是在需要微透镜的微点平面上直接原位成型光学系统所要求的非球曲面光学微透镜，不需要任何模具或掩模等微尺度辅助工具，避免了传统方法的两大技术难题，方法简单、制作速度快、成本低、适合批量生产。