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一种硅表面纳米金字塔绒面的全溶液制备方法

摘要

本发明公开了一种硅表面纳米金字塔绒面的全溶液制备方法,第一步,将硅片置于含金属离子和氢氟酸的混合溶液中,使硅片表面沉积一层金属纳米颗粒,得到附有金属纳米颗粒的硅片;第二步,将附有金属纳米颗粒的硅片浸入含有添加剂的碱溶液中,在一定的温度下经过一定的反应时间形成硅纳米金字塔绒面,得到制绒的硅片;第三步,将制绒的硅片浸泡于酸性溶液中,去除表面附着的金属纳米颗粒。本发明的方法将金属颗粒用于萃取硅与碱溶液反应产生的电子,从而改变氢气泡产生位置,使得硅表面能均匀受到腐蚀,从而产生致密的纳米金字塔绒面。其工艺简单、成本低廉而且绒面效果完美,在超薄晶硅电池中具有重要应用。

著录项

  • 公开/公告号CN106521635A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-03-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海交通大学;

    申请/专利号CN201611012727.7

  • 申请日2016-11-17

  • 分类号C30B33/10(20060101);C30B29/06(20060101);H01L31/0236(20060101);

  • 代理机构31220 上海旭诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人郑立

  • 地址 200240 上海市闵行区东川路800号

  • 入库时间 2023-06-19 01:49:42

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-07-26

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B33/10 申请公布日:20170322 申请日:20161117

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2017-04-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B33/10 申请日:20161117

    实质审查的生效

  • 2017-03-22

    公开

    公开

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