溅射薄膜温度压力复合传感器及其制作方法

摘要

本发明公开一种溅射薄膜温度压力复合传感器及其制作方法，可同时测量高低温气态或液态介质的温度与压力。其包括接嘴、敏感元件、铜柱、补偿板、金引线、套筒、信号处理电路板、外壳、导线、紧固螺钉、航空插座和插座底座，敏感元件上除了通过溅射薄膜工艺加工有四个用于压力测量的薄膜电阻，同时还在压力测量薄膜电阻的外圆周的极小形变区加工有两个用于温度测量的薄膜电阻。四个压力测量薄膜电阻通过金引线与补偿板进行转接并组桥，两个温度测量薄膜电阻引出四根金引线通过补偿板一对一转换为导线，并接到信号处理电路板上，并在信号调理电路板上完成组桥和补偿。该发明在原溅射薄膜压力传感器制造工艺基础上，几乎不增加任何生产和使用成本。