法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-01-16
授权
授权
2010-09-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 1/00 申请日:20081120
实质审查的生效
2010-06-16
公开
公开
机译: 位置校正数据生成设备,位置评级设备,用户界面设备,位置校正数据生成设备的位置校正数据生成方法,位置评级设备的位置评级方法,用户接口数据的信息处理方法,用户接口数据的处理,位置程序和用户界面程序
机译: 用于校正用户托盘和测试处理者的位置的装置
机译: 传送测试托盘的设备,具有该测试托盘的测试处理机以及使用该测试托盘的半导体器件的制造方法