一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法

摘要

本发明公开了一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法，由氦质谱检漏仪专用吸枪和氦质谱检漏仪组成。通过控制吸枪的流量，连接到氦质谱检漏仪分子泵的中检口，利用空气中稳定的氦气浓度替代正压漏孔，对吸枪进行定标，从而实现没有正压漏孔的情况下进行定标，避免利用正压漏孔定标时的误差，准确方便，节省检漏仪使用维护成本，提高检漏仪的使用效率。