公开/公告号CN102066887B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-23
原文格式PDF
申请/专利权人 西门子公司;
申请/专利号CN200980122880.7
发明设计人 帕维尔·克鲁克兹恩斯基;里卡德·拉尔金;
申请日2009-06-19
分类号
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人吴孟秋
地址 德国慕尼黑
入库时间 2022-08-23 09:12:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-01-23
授权
授权
2011-07-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 3/433 申请日:20090619
实质审查的生效
2011-05-18
公开
公开
机译: 编码器,用于通过将来自光学刻度尺的再衍射光形成干涉条纹,并对干涉条纹进行光电转换,从而检测刻度尺的位移
机译: 电磁波干涉条纹中不必要的光的消除方法以及使用电磁干涉条纹的测量方法
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