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多晶硅生产中还原尾气热能优化回收系统

摘要

本发明涉及化工技术领域,具体地说是一种多晶硅生产中还原尾气热能优化回收系统,其特征在于:还原尾气先通入余热锅炉的还原尾气进口作为余热锅炉的蒸发热源,而经余热锅炉换热的还原尾气再进入尾气换热器与水进行换热,水经尾气换热器换热为80~115℃的热水后再分两路分别输入余热锅炉的进水口和还原炉炉筒水闪蒸槽的进水口,而经尾气换热器换热后出来的还原尾气再进入尾气冷却器与来自循环水管网的循环水换热后再送往尾气回收装置的进口。本发明同现有技术相比,对还原尾气的热能进行了充分地梯级利用,可减少3~10%的外购蒸汽量;循环水用量约减少40~80%,大大节省了能耗,节约了生产成本。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-01-16

    授权

    授权

  • 2012-06-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 33/035 申请日:20110831

    实质审查的生效

  • 2012-05-02

    公开

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