法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-24
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/331 申请公布日:20161207 申请日:20160914
发明专利申请公布后的驳回
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/331 申请日:20160914
实质审查的生效
2016-12-07
公开
公开
机译: 铟和镓和氧的氧化物或铟和镓,锌和氧的氧化物的蚀刻溶液和蚀刻方法
机译: 包含铟,镓和氧或铟,镓,锌和氧的氧化物的蚀刻剂和蚀刻方法
机译: 通过使用相同的方法制造(铟,镓,锌,氧化物靶标和铟,镓,锌,氧化物靶标)