光学投影系统中的薄膜激励反射镜阵列及其制造方法

摘要

一种光学投影系统中的AMA薄膜及其制造方法。该AMA薄膜具有含电导线和连接端的基底，在该基底上形成的支承部件，在该支承部件上形成的激励器，形成在该激励器上的反射件。该激励器具有构成大倾斜角(θ)的最大长度(L)，以使设置在该激励器上的反射件具有大的倾斜角(θ)。因此，反射件反射光线的效率提高，屏幕上投影画面的对比度增加，提高了画面质量。另外，由于激励器具有大倾斜角(θ)，使光源与屏幕之间的距离较宽。