公开/公告号CN101334273B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-12-19
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML控股股份有限公司;
申请/专利号CN200810110297.1
发明设计人 赫尔曼·沃格尔;
申请日2008-06-26
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 09:12:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-12-19
授权
授权
2009-02-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-12-31
公开
公开
机译: 用于感测目标位置的装置和方法,用于感测对象的接近度的装置,用于安装传感器的装置,用于感测齿轮的位置的装置,用于感测阀和齿轮的装置,用于感测阀和齿轮的装置,用于感测目标接近度的装置
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