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用于感测喷嘴与物体间的距离的空气压力计及感测方法

摘要

本发明公开了一种用于感测到物体的距离的气体压力计及其感测方法。所述气体压力计包括气体供给系统和喷嘴,所述喷嘴将气体从所述气体供给系统供给到在所述喷嘴和所述物体之间的空隙。例如,所述气体供给系统以一定的流率供给气体,所述流量对应于在层流和湍流之间的过渡区域中的流体。所述喷嘴的表面可以被粗糙化,以便增加在所述表面上的摩擦系数,这增加了气体的压降和喷嘴的增益。由增加的流率所生成的噪声可以采用至少一个位于关键位置的亥姆赫兹衰减器和/或缓冲器被衰减。

著录项

  • 公开/公告号CN101334273B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-12-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ASML控股股份有限公司;

    申请/专利号CN200810110297.1

  • 发明设计人 赫尔曼·沃格尔;

    申请日2008-06-26

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人王波波

  • 地址 荷兰维德霍温

  • 入库时间 2022-08-23 09:12:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-12-19

    授权

    授权

  • 2009-02-25

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-12-31

    公开

    公开

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